1. （知名省级示范统考，2011第一次）27．（18分）氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域有重要用途。
I．工业上有多种方法来制备氮氦化硅，常见的方法有：
方法一 直接氦化法：在1300~1400℃时，高纯粉状硅与纯氦气化合，其反应方程式为
方法二 化学气相沉积法：在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氦气、氢气反应生成氦化硅和HCl，与方法一相比，用此法制得的氦化硅纯度较高，其原因是 。
方法三 Si（NH2）4热分解法：先用四氯化硅与氨气反应生成Si（NH2）4和一种气体 （填分子式）；然后使Si（NH2）4受热分解，分解后的另一种产物的分子式为 。
II．（1）氨化硅抗腐蚀能力很强，但易被氢氟酸腐蚀，氨化硅与氢氟酸反应生成四氟化硅和一种铵盐，此盐中存在的化学键类型有 。
